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F-110C系列流量计

EL-FLOW® Select 系列质量流量计/控制器，为‘实验室应用所设计的PC板模块化结构。控制阀可以是一体的，也可以是分体的。可测量和控制的气体流量范围：最低流量可达0,014...0,7 mln/min 最高流量可达 8...1670 ln/min
该款质量流量控制器的控制阀设计是模块化结构，用户可以在设备安装现场不做任何调整即可更换。标准通用的阀门是常关阀，Kv值可高达1.5 ，也可根据客户的要求提供常开阀的产品。

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特点

高精确度 (标准 0,5% Rd + 0,1% FS)
在数字模式下的最大量程比可达 1:187,5
反应灵敏(最低为200 msec)，重复性能好
可选配 ‘多气体‘/’多范围‘：可自由编程流量范围和气体类型
压力等级64/100bar (10bar以下可选配多介质/多量程功能)
可选高压版本
模拟 I/O-信号, RS232-连接; 可选的板载总线接口
所有的表面都经过了电化学抛光处理
紧凑，模块式结构
可选配金属密封和/或者上下连接式结构

应用领域

分析/环保设备

在食品，化学和石化行业中气体流量的监控

气体消耗监测和核算

通过相应对象来检测气体的泄漏情况

半导体制造业

表面处理装置

可测量范围

质量流量计（满量程，N2当量）

PN 100 bar	PN 200 bar	PN 400 bar
F-110C \| 0.7 … 9 mln/min	F-120M \| 10 … 15 mln/min	F-130M \| 10 … 15 mln/min
F-111B \| 0,008 … 25 ln/min	F-121M \| 0.015 … 20 ln/min	F-131M \| 0.015 … 20 ln/min
F-111AC \| 20 … 100 ln/min	F-121M \| 0,015 … 20 ln/	F-131M \| 0.015 … 20 ln/min
F-112AC \| 40 … 250 ln/min	F-122M \| 15 … 250 ln/min	F-132M \| 15 … 250 ln/min
F-113AC \| 200 … 1670 ln/min	F-123M \| 200 … 1250 ln/min	F-133M \| 200 … 1250 ln/min

PN 100 bar	PN 200 bar	PN 400 bar
F-110C \| 0.7 … 9 mln/min	F-120M \| 10 … 15 mln/min	F-130M \| 10 … 15 mln/min
F-111B \| 0,008 … 25 ln/min	F-121M \| 0.015 … 20 ln/min	F-131M \| 0.015 … 20 ln/min
F-111AC \| 20 … 100 ln/min	F-121M \| 0,015 … 20 ln/	F-131M \| 0.015 … 20 ln/min
F-112AC \| 40 … 250 ln/min	F-122M \| 15 … 250 ln/min	F-132M \| 15 … 250 ln/min
F-113AC \| 200 … 1670 ln/min	F-123M \| 200 … 1250 ln/min	F-133M \| 200 … 1250 ln/min