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F-201CV系列流量控制器
EL-FLOW® Select 系列质量流量计/控制器,拥有专门为‘实验室应用所设计的PC板模块化结构。控制阀可以是一体的,也可以是分体的。可测量和控制的气体流量范围: 最低流量可达0,014...0,7 mln/min 最高流量可达 8...1670 ln/min
该款质量流量控制器的控制阀是模块化结构,用户可以在设备安装现场不做任何调整即可更换。标准通用的阀门是常关阀,Kv值可高达1.5 ,也可根据客户的要求提供常开阀的产品。
特点

高精确度 (标准 0,5% Rd + 0,1% FS)

在数字模式下的最大量程比可达 1:187,5

反应灵敏(最低为200 msec),重复性能好

可选配 ‘多气体‘/’多范围‘:可自由编程流量范围和气体类型

压力等级64/100bar (10bar以下可选配多介质/多量程功能)

可选高压版本

模拟 I/O-信号, RS232-连接; 可选的板载总线接口

所有的表面都经过了电化学抛光处理

紧凑,模块式结构

可选配金属密封和/或者上下连接式结构

应用领域

分析/环保设备

在食品,化学和石化行业中气体流量的监控

气体消耗监测和核算

通过相应对象来检测气体的泄漏情况

半导体制造业

表面处理装置

可测量范围

质量流量控制器(满量程,N2当量)

PN64PN 100 barPN 200 barPN 400 bar
F-200CV  |  0.7 … 9 mln/minF-210CV  |  0.7 … 9 mln/minF-220M  |  10 … 15 mln/minF-230M  |  10 … 500 mln/min
F-201CV  |  0.008 … 25 ln/minF-211CV  |   0.008 … 25 ln/minF-221M  |  0.015 … 20 ln/minF-231M  |  0.5 … 10 ln/min
F-201AV  |  20 … 100 ln/minF-211AV  |  20 … 100 ln/minF-221M  |  0.015 … 20 ln/minF-231M  |  0.5 … 10 ln/min
F-202AV  |  40 … 250 ln/minF-212AV  |  40 … 250 ln/min
F-232M  |  10 … 100 ln/min
F-203AV  |  200 … 1670 ln/minF-213AV  |  200 … 1670 ln/min


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