● 原理：层流压差式流量控制器

● 精度：±1.0%设定值精度

● 高重复性：±0.2%F.S.

● 宽温度、压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

● 可选模拟信号、数字信号：(0~5)V、RS485传输方式方式

● 提供：上位机软件实时显示和下载数据信息

● 兼容内置：49种气体和可编辑的混合气体

● 工作流量范围：1%~120%F.S.

● 介质温度：-20℃~50℃

● 环境温度：-20℃~50℃

● 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

● 最大工作压力：1Mpa

● 耐压：1.5Mpa

● 供电电压：﹢（18~30）VDC

● 消耗电流：＜150mA (供电电压为24v时) ＜300mA（＜5V）

● 安装方式：无指定（任意角度）

● PIPG-MC101（微流量）

PIPG-MC101-00-0500  |  0.5 SCCM

PIPG-MC101-01-0001  |  1 SCCM

PIPG-MC101-01-0002  |  2 SCCM

PIPG-MC101-01-0005  |  5 SCCM

PIPG-MC101-01-0010  |  10 SCCM

PIPG-MC101-01-0020  |  20 SCCM

● PIPG-MC102（小流量）

PIPG-MC102-01-0050  |  50 SCCM

PIPG-MC102-01-0100  |  100 SCCM

PIPG-MC102-01-0200  |  200 SCCM

PIPG-MC102-01-0500  |  500 SCCM

PIPG-MC102-01-1000  |  1000 SCCM

PIPG-MC102-01-2000  |  2000 SCCM

● PIPG-MC120（中流量）

PIPG-MC120-02-0005  |  5 SLPM

PIPG-MC120-02-0010  |  10 SLPM

PIPG-MC120-02-0020  |  20 SLPM

PIPG-MC120-02-0050  |  50 SLPM

PIPG-MC120-02-0100  |  100 SLPM

PIPG-MC120-02-0200  |  200 SLPM

● PIPG-MC150（大流量）

PIPG-MC150-02-0500  |  500 SLPM

PIPG-MC150-02-1000  |  1000 SLPM

PIPG-MC150-02-1500  |  1500 SLPM

PIPG-MC150-02-2000  |  2000 SLPM

PIPG-MC150-02-3000  |  3000 SLPM

PIPG-MC150-02-4000  |  4000 SLPM

PIPG-MC150-02-5000  |  5000 SLPM

● 镀膜设备

溅射镀膜设备中的流控器件

● 光伏设备

光伏行业集成设备中的流控器件

● 热喷涂设备

热喷涂过程的流量控制