● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 可选高精度：优于0.5%

● 量程可测比1%-100%

● 响应时间快，仅需10 ms

● 内置130种常规以及腐蚀性气体

● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

● 可适用于诸多腐蚀性气体

介质要求 : 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类 : 内置了130种气体，请参考背面；一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程 : 从0-0.5 SCCM   到   0-5000 SLPM（详情请咨询）

最大显示流量 : 128 %满量程

显  示  屏 : 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式 : 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度 : ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）

高  精  度 : ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程），选配； 仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备

累计流量精度 :  流量精度之外增加±0.5%额外误差

重  复  性 : ± 0.2 %满量程

质量流量零点和满量程温度漂移 : 0.02%满量程/℃（从25℃开始）

质量流量零点和满量程压力漂移 : ±（0.08% 读数+ 0.02% 满量程）

                  （从校准压力开始）

响应时间 : 10 ms

预热时间 : ＜1 s

默认标况（STP）: 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度 : -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度 : ±0.75℃

工作湿度 : 0 ～100 %，无冷凝

最大工作压力 : 1 MPa  表压

最低操作压力 : 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用； 其他真空压力建议做特殊标定

压力精度 : ±0.5%满量程

极限耐压 : 1.1MPa  表压，进出口最大瞬时压差可为0.5 MPa

满量程压损 : 参考详细压损表

数据刷新频率 : 数字信号40 Hz@ 19200波特率；

模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率 : 10 Hz

数字输出信号 : RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输出信号 : 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出 : 质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度 : 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差

供电电压 : 9 - 24VDC （如选4 - 20 mA输出，须为12 - 24 VDC ）

供电电流 : 40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10VDC）

电气接口 : DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等

泄漏率（外漏）: 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质 : 316L不锈钢、FFKM（标准); 可根据特殊气体选用FKM、EPDM、Buna

过程连接 : 详情参考压损表

安装方式 : 对位置无要求

防护等级 : IP40

认       证 : ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA（可选）

●  大学/研究所           ●  泄漏检测
●  环境监测                ●  真空行业及镀膜
●  工业炉窑                ●  半  导  体
●  汽车制造                ●  计量校准
●  过程工艺气体测量