● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力

● 可选高精度：优于0.5%

● 量程可控比1%-100%

● 响应时间快，100 ms（可调）

● 内置128种常规及腐蚀性气体

● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

● 可适用于诸多腐蚀性气体

介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类：内置了128种气体，请参考背面； 一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程：从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（详情请咨询）

量程可控比：1%-100%

最大显示流量：128 %满量程

最大可控流量：102.4 %满量程

显  示  屏：带背光按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度：±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）

高  精  度：±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程），选配； 仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备

累计流量精度：流量精度之外增加±0.5%读数额外误差

重  复  性：± 0.2 %满量程

质量流量零点和满量程温度漂移：0.02%满量程/℃（从25℃开始）

质量流量零点和满量程压力漂移：±(0.08% 读数+ 0.02% 满量程)

                 （从校准压力开始）

控制响应时间（T63）:  用户可调， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms

                                   10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms

                                   50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms

显示响应时间:   用户可调， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms

                         10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms

                         50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms

预热时间：＜ 1 s

默认标况（STP）：25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

阀门功能：常闭型

工作温度：-10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度：± 0.75℃               

工作湿度： 0  ～ 100 %，无冷凝

最大工作压力：1 MPa 表压

最低操作压力： 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用； 其他真空压力建议做特殊标定

压力精度：±0.5%读数            

极限耐压：1.1 MPa  表压

满量程压损：参考详细压损表

数据刷新频率：数字信号40 Hz@19200波特率；模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率：10 Hz

数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485） 、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模拟输入/输出信号：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出：质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度：在基础误差上额外增加±0.1%满量程误差

供电电压：12 - 30 VDC 

供电电流：250 mA，1 A，2 A（详情咨询）额外加 40 mA（ 4-20 mA ）

电气接口：DB9M，可选8针Mini-DIN、DB15、6针工业接头等

泄漏率（外漏）：选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质：316L、303、和430FR不锈钢、FFKM（标准）

                  可根据特殊气体选用FKM或EPDM，R阀门增加410不锈钢

过程连接：详情参考压损表

安装位置：小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装

防护等级：IP40 

认       证：ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

●  大学/研究所           ●  泄漏检测
●  环境监测                ●  真空行业及镀膜
●  工业炉窑                ●  半  导  体
●  汽车制造                ●  计量校准
●  过程工艺气体测量