最小流量：20SCCM
最大流量：250SLPM
EMC经济型气体层流质量流量控制器是一款性价比极高的质量流量控制器，尽管成本较低，但同样采用层流压差式原理，和内置压力、温度传感器的精确补偿，有数字信号RS485款和模拟信号(0~5)V/(4~20)mA款可供选择，精度可达±1.0%满量程，具有高重复性、自动测量控制和宽温度压力适用范围等特点。

11系列基本型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的11系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量。采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校，可达到优于100 ms的控制速度，并保持极佳稳定性。