最小流量：0.1SCCM
最大流量：500SLPM
S100-PL/PLG低(极低)压损气体层流质量流量计系列产品满量程压损最低可至400Pa,低压损可最大程度减少气路系统造成的波动影响，可在接近大气压的压力下或在可用系统压力很小的情况下进行流量测量，保证流量测量更加准确和稳定。

20W系列低压降质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。 20W系列具有超低压损，满量程压损最低可达480Pa。可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度适用于多种流量测控场合，尤其是要求低压损的应用场合。

21W系列低压降质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。 21W系列具有超低压损，满量程压损最低可达480 Pa。21W系列可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合，尤其是要求低压损的应用场合。